Рассматриваются различные методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем с позиций их применимости для неразрушающего и оперативного контроля в процессе производства. Указаны пути совершенствования и оценены предельные возможности каждого из методов....