В данной работе рассмотрена гидродинамическая MEP модель, описывающая процесс переноса заряда в полупроводниковых кремниевых устройствах субмикронного размера. Модель состоит из системы моментных соотношений уравнения Больцмана и уравнения Пуассона для электрического потенциала....