Работа посвящена установлению закономерностей процессов дефектообразования в слоистых структурах диоксид кремния-кремний и приборных системах на их основе, установлению механизмов влияния дефектов на электрофизические характеристики, моделированию процессов токопереноса в этих структурах и системах....