Словарь содержит около 24 тыс. терминов по технологии изготовления и конструкции полупроводниковых ИС, тонкопленочных ГИС, по технологическому оборудованию для микроэлектроники, по основам конструирования и проектирования ИС, по испытанию и контролю ИС. В конце словаря даны сокращения. Отдельным приложением дан Указатель русских терминов....