Информация об авторе

Галперин В.


Библиография книг автора

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях Галперин В. Данилкин Е. Мочалов А.Д.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем....
297 руб.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие Галперин В. Данилкин Е. Мочалов А.Д.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем....
Нет в наличии