Сейдман Л.
| |
Библиография книг автора
 |
Берлин Е.М.
Григорьев В.А.
Сейдман Л.
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм....
|
от 644 руб. |
 |
Берлин Е.М.
Сейдман Л.
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом....
|
349 руб. |
 |
Берлин Е.М.
Коваль Н.П.
Сейдман Л.
Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталей
Книга представляет собой подробное справочное руководство по основам плазменной химико-термической обработки поверхности стальных деталей. В ней обобщены сведения о современном развитии этих технологических процессов, теоретические основы и методы их проведения....
|
от 476 руб. |
 |
Берлин Е.М.
Сейдман Л.
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов....
|
399 руб. |