Информация об авторе

Шевяков В.И.


Россия

Профессор кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" МИЭТ. Автор более 150 научных публикаций.

Библиография книг автора

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем Королёв М. Крупкина Т.Ю. Путря М. Шевяков В.И.
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния....
253 руб.
Металлизация ультрабольших интегральных схем Громов Д. Мочалов А.Д. Сулимин А.Д. Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
275 руб.
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях Королёв М. Крупкина Т.Ю. Путря М. Шевяков В.И.
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния....
253 руб.
Металлизация ультрабольших интегральных схем Громов Д. Мочалов А.Д. Сулимин А.Д. Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
1694 руб.
Металлизация ультрабольших интегральных схем Громов Д. Мочалов А.Д. Сулимин А.Д. Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
Нет в наличии