Информация об авторе

Сулимин А.Д.


Россия

Ведущий специалист ОАО "НИИМЭ и завод "Микрон". Автор более 200 научных публикаций, более 100 изобретений и патентов.

Библиография книг автора

Металлизация ультрабольших интегральных схем Громов Д. Мочалов А.Д. Сулимин А.Д. Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
275 руб.
Металлизация ультрабольших интегральных схем Громов Д. Мочалов А.Д. Сулимин А.Д. Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
1694 руб.
Металлизация ультрабольших интегральных схем Громов Д. Мочалов А.Д. Сулимин А.Д. Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
Нет в наличии