Информация об авторе

Мараева Е.


Библиография книг автора

Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 3. Эпитаксиальный рост. Учебник для вузов Александрова О.И. Лебедев А.Д. Мараева Е.
Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 3. Эпитаксиальный рост. Учебник для вузов
Представлены основные виды эпитаксиальных технологий. Рассмотрено конструктивное оформление и основные параметры наиболее распространенных видов эпитаксиального роста. Сформулированы требования к эпитаксиальным подложкам и описаны основные этапы их подготовки для эпитаксии. Рассмотрены особенности зародышеобразования в гетерогенных системах....
1860 руб.
Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки Александрова О.И. Лебедев А.Д. Мараева Е.
Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности....
1860 руб.
Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 1. От минерального сырья к монокристаллу Александрова О.И. Лебедев А.Д. Мараева Е.
Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 1. От минерального сырья к монокристаллу
Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов....
1482 руб.