Предисловие
Глава 1. Принципы
1.1. Газовые законы
1.1.1. Законы идеальных газов
1.1.2. Испарение, конденсация, понятия "газ", "пар"
1.1.3. Тепловое движение молекул
1.1.4. Давление с точки зрения кинетической
теории
1.2. Свойства газов в зависимости от степени
вакуума
1.2.1. Средняя длина свободного пробега
1.2.2. Степени вакуума
1.2.3. Соударения молекул и поток газа
1.2.4. Диффузия газов
1.2.5. Теплопроводность и внутреннее трение
газов
1.3. Основы процесса откачки
1.3.1. Быстрота откачки объема и быстрота
действия насоса
1.3.2. Сопротивление и пропускная способность
вакуумпровода
1.3.3. Основное уравнение вакуумной техники
Глава 2. Элементы расчета вакуумных систем
2.1. Вид течения газа и давление
2.2. Пропускная способность отверстий
2.2.1. Молекулярный режим течения газа
2.2.2. Вязкостный режим течения газа
2.2.3. Молекулярно-вязкостный режим течения
газа
2.3. Пропускная способность трубопроводов
2.3.1. Молекулярный режим течения газа
2.3.2. Вязкостный режим течения газа
2.4. Течение в трубопроводах малого поперечного
сечения
2.4.1. Течение газа через капилляр
2.5. Расчет длительности откачки
2.5.1. Обобщенная формула
2.5.2. Вакуумпровод с большой пропускной
способностью
2.5.3. Вакуумпровод с малой пропускной
способностью
2.6. Согласование насосов, работающих
последовательно
Глава 3. Техника получения вакуума
3.1. Объемные вращательные механические насосы
3.1.1. Водокольцевые насосы
3.1.2. Вращательные насосы с масляным
уплотнением
3.1.3. Вращательные механические безмасляные
насосы
3.2. Объемные возвратно-поступательные насосы
3.2.1. Диафрагменные насосы
3.3. Турбомолекулярные насосы
3.4. Пароструйные насосы
3.4.1. Эжекторные и бустерные насосы
3.4.2. Диффузионные насосы
3.5. Геттерные насосы
3.6. Геттерно-ионные насосы
3.7. Магниторазрядные насосы
3.8. Криогенные насосы
3.9. Цеолитовые насосы
Глава 4. Техника измерения вакуума
4.1. Вакуумметры
4.1.1. Абсолютные вакуумметры
4.1.2. Емкостные манометры
4.1.3. Тепловые вакуумметры
4.1.4. Электронные ионизационные вакуумметры
4.1.5. Магнитные электроразрядные вакуумметры
4.1.6. Современные конструкции
4.2. Газоанализаторы
4.2.1. Классификация анализаторов
4.2.2. Статические масс-спектрометры с
разделением ионов в магнитном поле
4.2.3. Циклоидальный масс-спектрометр
(трохотрон)
4.2.4. Время пролетный масс-спектрометр
(хронотрон)
4.2.5. Резонансный радиочастотный
масс-спектрометр (омегатрон)
4.2.6. Квадрупольный и монополярный
масс-спектрометры
4.2.7. Радиочастотный масс-спектрометр
(фарвитрон)
4.2.8. Радиочастотный масс-спектрометр
(топатрон)
4.2.9. Десорбционный спектрометр
4.3. Измерение газовых потоков
4.3.1. Методы измерения газовых потоков
4.3.2. Аппаратура измерения больших газовых
потоков
4.3.3. Автоматические системы регулирования
газовых потоков
4.4. Течеискание
4.4.1. Количественная оценка течи
4.4.2. Компрессионный метод
4.4.3. Искровой течеискатель
4.4.4. Манометрический метод
4.4.5. Галоидный течеискатель
4.4.6. Гелиевый течеискатель
Глава 5. Элементы вакуумных систем
5.1. Вакуумные материалы
5.1.1. Металлы
5.1.2. Стекла
5.1.3. Керамические материалы
5.1.4. Органические материалы
5.2. Неразъемные соединения
5.2.1. Вакуумно-герметичная пайка
5.2.2. Сварные соединения
5.2.3. Элементы вакуумных систем
5.3. Разъемные соединения
5.3.1. Простейшие разъемные соединения
5.3.2. Соединения с эластомерными уплотнителями
5.3.3. Соединения с металлическими
уплотнителями
5.4. Запорная арматура
5.4.1. Требования, предъявляемые к запорной
арматуре
5.4.2. Запорная арматура вакуумных систем с
давлением больше 5o10-7 мм рт. ст.
5.4.3. Запорная арматура вакуумных систем с
давлением меньше 5o10-7 мм рт. ст.
5.4.4. Устройства аварийного перекрытия
трубопроводов
5.4.5. Натекатели
5.5. Смотровые окна
5.6. Электрические вакуумные вводы
5.6.1. Низковольтные вакуумные вводы
5.6.2. Высоковольтные вакуумные вводы
5.6.3. Коаксиальные вводы
5.7. Передача движения в вакуум
5.7.1. Вводы движения с сальниковыми
уплотнителями
5.7.2. Вводы движения с гибкими элементами
5.7.3. Передача движения через неподвижную
перегородку
5.7.4. Трение в вакууме
5.8. Ловушки
5.8.1. Основные требования к ловушкам
5.8.2. Ловушки без адсорбента
5.8.3. Адсорбционные ловушки
5.8.4. Термосорбционные ловушки
5.8.5. Электрические ловушки
Глава 6. Вакуумные системы
6.1. Типовые схемы и последовательность запуска
6.2. Подготовка элементов вакуумной системы к
сборке
6.3. Монтаж вакуумной системы
6.4. Получение предельного разрежения в рабочем
объеме. Проверка герметичности вакуумной
системы
Глава 7. Проблемы безопасности в вакуумной
технике
7.1. Основы вакуумной гигиены
7.2. Электробезопасность в вакуумной технике
7.3. Другие виды безопасности
7.3.1. Вакуумная безопасность
7.3.2. Термическая безопасность
7.3.3. Системы высокого давления
7.4. Основы производственной санитарии
Приложение 1. Данные о некоторых отечественных
и зарубежных фирмах
Приложение 2. Условные графические обозначения
элементов вакуумных систем
Приложение 3. Условные графические обозначения
Приложение 4. Русско-английский словарь
основных терминов вакуумной техники
Приложение 5. Англо-русский словарь основных
терминов вакуумной техники
Литература