Королев М., Крупкина Т.Ю., Путря М., Шевяков В.И., Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования
серия: Электроника
Бином. Лаборатория знаний, 2009 г., 424 стр., 978-5-94774-585-6, 978-5-94774-583-2
Описание книги
Поделиться ссылкой на книгу
Содержание книги
Раздел 1. Основные маршруты изготовления
кремниевых интегральных схем
1. Дополнительные области ИС
2. Особенности масштабированной технологии
изготовления ИС
3. Примеры маршрутов изготовления ИС
4. Современное состояние технологии
многоуровневой системы металлизации кремниевых
ИС
Раздел 2. Плазменные методы формирования
трехмерных структур СБИС
1. Современные проблемы разработки процессов
плазменного травления для УБИС
2. Элементарные процессы, протекающие в плазме
и плазменных системах различного типа
3. Специфика плазменного оборудования,
используемого в субмикронной технологии
4. Базовые технологические процессы плазменного
формирования трехмерных микроструктур
5. Глубокое анизотропное плазменное травление
кремния для формирования
микроэлектромеханических систем
6. Методология разработки процессов
формирования трехмерных структур УБИС
плазменными методами
Раздел 3. Методы приборно-технологического
моделирования в проектировании маршрутов и
элементов СБИС
1. Системы приборно-технологического
моделирования
2. Программные средства
приборно-технологического моделирования как
основа системы виртуального производства
3. Примеры использования методов
приборно-технологического моделирования
4. Моделирование базовых технологических
маршрутов
Литература
Об авторе
Профессор кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" МИЭТ. Автор более 150 научных публикаций.
Последние поступления в рубрике "Тематика определяется"
 |
Математика. Подготовка к ЕГЭ. Задачи с параметрами.10-11 классы
В предлагаемом пособии представлен обширный материал, посвященный двум заключительным и сложным темам ЕГЭ профильного уровня: задачам с параметрами и числам и их свойствам. На многочисленных примерах с подробными решениями и обоснованиями (как и требуется на экзамене) показаны различные методы и решения задач.... |
|
План счетов бухгалтерского учета с последними изменениями
Читателю предлагается самая последняя редакция Плана счетов бухгалтерского учета финансово-хозяйственной деятельности организаций и инструкции по его применению с учетом последних приказов Минфина РФ. План счетов - это важнейший инструмент бухгалтерского учета, настольная книга для каждого практического бухгалтера.... |
|
На ферме. Книжка с наклейками
Игры с наклейками - занятие не только интересное, но и полезное. С этой книгой малыш познакомится с различными видами транспорта, потренируется решать простые логические задачки и находить соответствия.... |
Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Королев М., Крупкина Т.Ю., Путря М., Шевяков В.И., Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.
