Панфилов П., Формирование функциональных слоев

МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет), 2020 г., 978-5-7038-5350-4

Описание книги

Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».

Скачать, но не бесплатно эту книгу можно в интернет-магазинах

Литрес - 180 руб.

Читать онлайн

Доступен для чтения фрагмент книги

Поделиться ссылкой на книгу

Об авторе

Панфилов П.

Последние поступления в рубрике "Тематика определяется"

	Фигуры 2+. Вырезалки Терентьева Н.М., Маврина Л. Умение вырезать – важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости....
	Первые контурные вырезалки 2+ Терентьева Н.М., Маврина Л. Умение вырезать - важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости. Для детей до 3-х лет....
	Мои первые вырезалки 2+ Терентьева Н.М., Маврина Л. Умение вырезать – важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости. Для детей до 3-х лет....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Панфилов П., Формирование функциональных слоев в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.