Информация о книге

978-5-7782-4726-0

Главная » Тематика определяется » Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Васильев Ю.В., Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Новосибирский государственный технический университет, 2022 г., 978-5-7782-4726-0

Описание книги

Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Lme (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем. Может быть рекомендовано для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники, а также для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.

Скачать, но не бесплатно эту книгу можно в интернет-магазинах

Литрес - 180 руб.

Читать онлайн

Доступен для чтения фрагмент книги

Поделиться ссылкой на книгу

Об авторе

Васильев Ю.В.

Последние поступления в рубрике "Тематика определяется"

	Фигуры 2+. Вырезалки Терентьева Н.М., Маврина Л. Умение вырезать – важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости....
	Первые контурные вырезалки 2+ Терентьева Н.М., Маврина Л. Умение вырезать - важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости. Для детей до 3-х лет....
	Мои первые вырезалки 2+ Терентьева Н.М., Маврина Л. Умение вырезать – важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости. Для детей до 3-х лет....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Васильев Ю.В., Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.