Информация о книге

Главная » Тематика определяется » Fundamental Principles of Optical Lithography

Mack ., Fundamental Principles of Optical Lithography

John Wiley & Sons Limited, , 9780470723869

Описание книги

The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components. By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate. This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter. Additional Information: Visiting http://www.lithoguru.com/textbook/index.html enhances the reader"s understanding as the website supplies information on how you can download a free laboratory manual, Optical Lithography Modelling with MATLAB®, to accompany the textbook. You can also contact the author and find help for instructors.

Скачать, но не бесплатно эту книгу можно в интернет-магазинах

Литрес - 28340.57 руб.

Читать онлайн

Доступен для чтения фрагмент книги

Поделиться ссылкой на книгу

Об авторе

Mack .

Последние поступления в рубрике "Тематика определяется"

	Фигуры 2+. Вырезалки Терентьева Н.М., Маврина Л. Умение вырезать – важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости....
	Первые контурные вырезалки 2+ Терентьева Н.М., Маврина Л. Умение вырезать - важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости. Для детей до 3-х лет....
	Мои первые вырезалки 2+ Терентьева Н.М., Маврина Л. Умение вырезать – важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости. Для детей до 3-х лет....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Mack ., Fundamental Principles of Optical Lithography в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.