Информация о книге

9783638700955

Главная  » Тематика определяется » Mechanical resonator for hermeticity evaluation of RF MEMS wafer-level packages

Fischer S., Mechanical resonator for hermeticity evaluation of RF MEMS wafer-level packages

, 130 стр., 9783638700955


Описание книги

Master's Thesis from the year 2002 in the subject Electrotechnology, grade: 1.0 (A), University of Applied Sciences Berlin (FB1), 49 entries in the bibliography, language: English, abstract: Common test standards for evaluating the hermeticity of microsystempackages are unsuitable for small MEMS-devices.It is the task of this Master thesis to create a universal test device tomeasure and to compare the hermeticities of different wafer-levelpackaging concepts, especially for RF MEMS devices. Resonator structureswere found to be most suitable to measure low pressures and lowpressure changes over time, due to the high sensitivity of their Q-value tothe pressure in the cavity. The resonators are electrostatically actuated byusing a novel coupling concept of the excitation voltage. The detection ofthe resonator movement is done by laser-interferometry. Sensors fulfillingthe specific demands were designed, simulated and fabricated in thecleanroom. The fabrication process is based on SOI (Silicon On Insulator)wafers. Finally, the sensors were evaluated and characterized.A suitable resonator with a length of 500 µm reaches a Q-factor of 8070,at an ambient pressure of 0,02 mbar, and a resonance frequency of36329 Hz. The sensitivity of the Q-value to pressure change is4000 %/mbar at 0,02 mbar.This work was carried out within the Summit RF MEMS project,a collaborative project involving Ericsson, the Royal Institute ofTechnology-S3, Acreo and Saab Ericsson Space.

Ключевые слова


  Saab 


Поделиться ссылкой на книгу




Об авторе

Fischer S.


Последние поступления в рубрике "Тематика определяется"



Математика. Подготовка к ЕГЭ. Задачи с параметрами.10-11 классы 

В предлагаемом пособии представлен обширный материал, посвященный двум заключительным и сложным темам ЕГЭ профильного уровня: задачам с параметрами и числам и их свойствам. На многочисленных примерах с подробными решениями и обоснованиями (как и требуется на экзамене) показаны различные методы и решения задач....

План счетов бухгалтерского учета с последними изменениями 

Читателю предлагается самая последняя редакция Плана счетов бухгалтерского учета финансово-хозяйственной деятельности организаций и инструкции по его применению с учетом последних приказов Минфина РФ. План счетов - это важнейший инструмент бухгалтерского учета, настольная книга для каждого практического бухгалтера....

На ферме. Книжка с наклейками 

Игры с наклейками - занятие не только интересное, но и полезное. С этой книгой малыш познакомится с различными видами транспорта, потренируется решать простые логические задачки и находить соответствия....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Fischer S., Mechanical resonator for hermeticity evaluation of RF MEMS wafer-level packages в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.