Информация о книге

978-5-94774-904-5

Главная » Тематика определяется » Металлизация ультрабольших интегральных схем

Громов Д., Мочалов А.Д., Сулимин А.Д., Шевяков В.И., Металлизация ультрабольших интегральных схем

Бином. Лаборатория знаний, 2009 г., 280 стр., 978-5-94774-904-5 , 222*150*15 мм., тираж: 1000

Описание книги

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Поделиться ссылкой на книгу

Содержание книги

1. Развитие систем металлизации кремниевых ИС.
Основные проблемы
2. Выпрямляющие контакты
3. Омические контакты
4. Формирование силицидных контактных слоев
5. Пути повышения тепловой устойчивости систем
металлизации. Принципы создания
диффузионно-барьерных слоев
6. Диэлектрические слои многоуровневой системы
металлизации
7. Особенности технологий многослойной системы
металлизации с медными межсоединениями

Об авторе

Громов Д.

Мочалов А.Д.

Сулимин А.Д.
Ведущий специалист ОАО "НИИМЭ и завод "Микрон". Автор более 200 научных публикаций, более 100 изобретений и патентов.

Шевяков В.И.
Профессор кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" МИЭТ. Автор более 150 научных публикаций.

Последние поступления в рубрике "Тематика определяется"

	Математика. Подготовка к ЕГЭ. Задачи с параметрами.10-11 классы В предлагаемом пособии представлен обширный материал, посвященный двум заключительным и сложным темам ЕГЭ профильного уровня: задачам с параметрами и числам и их свойствам. На многочисленных примерах с подробными решениями и обоснованиями (как и требуется на экзамене) показаны различные методы и решения задач....
	План счетов бухгалтерского учета с последними изменениями Читателю предлагается самая последняя редакция Плана счетов бухгалтерского учета финансово-хозяйственной деятельности организаций и инструкции по его применению с учетом последних приказов Минфина РФ. План счетов - это важнейший инструмент бухгалтерского учета, настольная книга для каждого практического бухгалтера....
	На ферме. Книжка с наклейками Игры с наклейками - занятие не только интересное, но и полезное. С этой книгой малыш познакомится с различными видами транспорта, потренируется решать простые логические задачки и находить соответствия....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Громов Д., Мочалов А.Д., Сулимин А.Д., Шевяков В.И., Металлизация ультрабольших интегральных схем в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.