Информация о книге

978-5-94774-904-5

Главная » Тематика определяется » Металлизация ультрабольших интегральных схем

Громов Д., Мочалов А.Д., Сулимин А.Д., Шевяков В.И., Металлизация ультрабольших интегральных схем

Бином. Лаборатория знаний, 2009 г., 280 стр., 978-5-94774-904-5 , 222*150*15 мм., тираж: 1000

Описание книги

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Поделиться ссылкой на книгу

Содержание книги

1. Развитие систем металлизации кремниевых ИС.
Основные проблемы
2. Выпрямляющие контакты
3. Омические контакты
4. Формирование силицидных контактных слоев
5. Пути повышения тепловой устойчивости систем
металлизации. Принципы создания
диффузионно-барьерных слоев
6. Диэлектрические слои многоуровневой системы
металлизации
7. Особенности технологий многослойной системы
металлизации с медными межсоединениями

Об авторе

Громов Д.

Мочалов А.Д.

Сулимин А.Д.
Ведущий специалист ОАО "НИИМЭ и завод "Микрон". Автор более 200 научных публикаций, более 100 изобретений и патентов.

Шевяков В.И.
Профессор кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" МИЭТ. Автор более 150 научных публикаций.

Последние поступления в рубрике "Тематика определяется"

	Ритуальный оракул Магия зеркал, 53 карты + инструкция Представляем вам новую профессиональную колоду Любови Никифоровой (Отилы), являющуюся продолжением ранее изданной и уже популярной колоды «Ритуальный Оракул». В ней вы познакомитесь с азами работы с зеркалами, видами магических воздействий и способами их снятия....
	Оракул Норн. Нити судьбы, 45 карт+инструкция Оракул Норн: нити судьбы - действительно уникальная колода. Предсказывать будущее или узнавать обстоятельства прошлого и настоящего помогают Боги, Богини и герои Древней Скандинавии. Они дают подробное описание грядущих событий, которое напрямую зависит не только от обстоятельств, но и от характера человека, который хочет узнать свое будущее....
	Оракул Вселенской любви Ангелов, 72 карты + инструкция Оракул Вселенских Ангелов — это уникальная колода карт, созданная для тех, кто ищет направление и поддержку в области любви и добра от духовного мира Ангелов. Колода состоит из 72 карт, на каждой из которых изображен Ангел....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Громов Д., Мочалов А.Д., Сулимин А.Д., Шевяков В.И., Металлизация ультрабольших интегральных схем в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.