Информация о книге

978-5-94774-904-5

Главная  » Тематика определяется » Металлизация ультрабольших интегральных схем

Громов Д., Мочалов А.Д., Сулимин А.Д., Шевяков В.И., Металлизация ультрабольших интегральных схем

Бином. Лаборатория знаний, 2009 г., 280 стр., 978-5-94774-904-5 , 222*150*15 мм., тираж: 1000


Описание книги

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Рекомендации

Рекомендовано учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации.

Поделиться ссылкой на книгу



Содержание книги

1. Развитие систем металлизации кремниевых ИС.
Основные проблемы
2. Выпрямляющие контакты
3. Омические контакты
4. Формирование силицидных контактных слоев
5. Пути повышения тепловой устойчивости систем
металлизации. Принципы создания
диффузионно-барьерных слоев
6. Диэлектрические слои многоуровневой системы
металлизации
7. Особенности технологий многослойной системы
металлизации с медными межсоединениями


Об авторе

Громов Д.

Мочалов А.Д.

Сулимин А.Д.
Ведущий специалист ОАО "НИИМЭ и завод "Микрон". Автор более 200 научных публикаций, более 100 изобретений и патентов.

Шевяков В.И.
Профессор кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" МИЭТ. Автор более 150 научных публикаций.

Последние поступления в рубрике "Тематика определяется"



Фигуры 2+. Вырезалки Фигуры 2+. Вырезалки Терентьева Н.М., Маврина Л.

Умение вырезать – важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости....

Первые контурные вырезалки 2+ Первые контурные вырезалки 2+ Терентьева Н.М., Маврина Л.

Умение вырезать - важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости. Для детей до 3-х лет....

Мои первые вырезалки 2+ Мои первые вырезалки 2+ Терентьева Н.М., Маврина Л.

Умение вырезать – важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости. Для детей до 3-х лет....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Громов Д., Мочалов А.Д., Сулимин А.Д., Шевяков В.И., Металлизация ультрабольших интегральных схем в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.