Информация о книге

9783639181760

Главная  » Тематика определяется » Silicon Micromechanical Resonator

Chandra M., Silicon Micromechanical Resonator

, 186 стр., 9783639181760


Описание книги

This book presents a silicon micromechanical resonator based digital temperature sensing technique as well as an efficient local-thermal-isolation method. The micromechanical resonator based thermometry results into a lag-free temperature sensor suitable for high precision temperature control of the resonator. The thermal isolation technique includes the design of an integrated heater with the micromechanical resonator such that the mechanical suspension, electrical heating and thermal isolation are provided in a single compact structure. This results in reducing the power consumption by more than 20x and the thermal time constant by more than 50x. Further reduction in power consumption requires analysis of the resonator structure to maintain its mechanical integrity. An improved thermally isolated design using topology optimization is described. The final design provides both the thermal isolation as well as the mechanical isolation with the overall reduction in power consumption of 40x. Furthermore, these methods are simple enough to implement it into any existing MEMS fabrication process.

Поделиться ссылкой на книгу




Об авторе


Последние поступления в рубрике "Тематика определяется"



Фигуры 2+. Вырезалки Фигуры 2+. Вырезалки Терентьева Н.М., Маврина Л.

Умение вырезать – важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости....

Первые контурные вырезалки 2+ Первые контурные вырезалки 2+ Терентьева Н.М., Маврина Л.

Умение вырезать - важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости. Для детей до 3-х лет....

Мои первые вырезалки 2+ Мои первые вырезалки 2+ Терентьева Н.М., Маврина Л.

Умение вырезать – важный навык, который способствует развитию мелкой моторики рук, координации движений, внимательности и усидчивости. Для детей до 3-х лет....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Chandra M., Silicon Micromechanical Resonator в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.