Информация о книге

978-5-7038-4864-7

Главная  » Тематика определяется » Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2. Учебное пособие

Цветков Ю.Г., Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2. Учебное пособие

Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2018 г., 978-5-7038-4864-7


Наличие в интернет-магазинах

Магазинов: 4, Цена: от 543 руб. посмотреть все

Описание книги

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям \"Электроника и наноэлектроника\" и \"Наноинженерия\".

Купить эту книгу можно в интернет-магазинах

  My-Shop - 543 руб.   Буквоед - 1149 руб.   Читай-Город - 1149 руб.
  Страница товара выбранного интернет-магазина откроется в новом табе

Скачать, но не бесплатно эту книгу можно в интернет-магазинах

  Литрес - 144 руб.

Читать онлайн


Доступен для чтения фрагмент книги

Поделиться ссылкой на книгу




Об авторе

Цветков Ю.Г.


Последние поступления в рубрике "Тематика определяется"



Математика. Подготовка к ЕГЭ. Задачи с параметрами.10-11 классы 

В предлагаемом пособии представлен обширный материал, посвященный двум заключительным и сложным темам ЕГЭ профильного уровня: задачам с параметрами и числам и их свойствам. На многочисленных примерах с подробными решениями и обоснованиями (как и требуется на экзамене) показаны различные методы и решения задач....

План счетов бухгалтерского учета с последними изменениями 

Читателю предлагается самая последняя редакция Плана счетов бухгалтерского учета финансово-хозяйственной деятельности организаций и инструкции по его применению с учетом последних приказов Минфина РФ. План счетов - это важнейший инструмент бухгалтерского учета, настольная книга для каждого практического бухгалтера....

На ферме. Книжка с наклейками 

Игры с наклейками - занятие не только интересное, но и полезное. С этой книгой малыш познакомится с различными видами транспорта, потренируется решать простые логические задачки и находить соответствия....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Цветков Ю.Г., Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2. Учебное пособие в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.