Информация о книге

0470727306

Главная  » Научно-техническая литература » Прикладные науки. Техника » Радиоэлектроника. Связь » Электроника » Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication

Mack C., Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication

Wiley, 2008 г., 534 стр., 0470727306


Описание книги

Microlithography is the main technical driving force behind one of the most important phenomenon in the history of technology - microelectronics and the incredible shrinking transistor. These dramatic increases in electronic functionality per unit cost each year for early five decades, have transformed society. The gating piece of technology in this marvel of manufacturing progress has always been the process of lithography - the photochemical printing of circuit patterns onto semiconductor wafers. This text attempts a difficult task - to capture the fundamental principles of the incredibly fast-changing field of semiconductor microlithography in such a sway that these principles may be effectively applied to past, present and future microfabrication technology generations. Its focus is on the underlying scientific principles of optical lithography, rather than its practice. It will serve equally well as a university textbook (each chapter has an extensive set of problems) and...

Поделиться ссылкой на книгу




Об авторе

Mack C.


Последние поступления в рубрике "Электроника"



Микропроцессорные устройства релейной защиты и автоматики распределительных сетей Микропроцессорные устройства релейной защиты и автоматики распределительных сетей Барабанов Ю.

Приведено описание алгоритмов функционирования микропроцессорных устройств релейной защиты и автоматики распределительной сети 6 + 35 кВ, а также двигателей мощностью до 5000 кВт. Значительное внимание уделено вопросам проектирования, прежде всего расчету уставок....

Функциональная устойчивость сверхбольших интегральных схем. Критерий качества и надежности Функциональная устойчивость сверхбольших интегральных схем. Критерий качества и надежности Куликов И.

В монографии рассмотрена проблема оценки качества сверхбольших интегральных схем (СБИС). Прогресс в их изготовлении не обеспечен методологией оценки результатов испытаний на надёжность как свойства высокого качества....

Микроконтроллеры AVR: от азов программирования до создания практических устройств ( + CD с видеокурсами) Микроконтроллеры AVR: от азов программирования до создания практических устройств ( + CD с видеокурсами) Белов А.Н.

Данная книга - это практический самоучитель по микроэлектронике и микроконтроллерам для начинающих конструкторов, а также для широкого круга инженеров, мастеров по ремонту электроники и всех желающих расширить свои знания в этой области....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Mack C., Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.