Информация о книге

9783843394222

Главная  » Научно-техническая литература » Математика. Естественные науки » Физика » Общая физика » INVESTIGATIONS ON MAGNETRON SPUTTERED TANTALUM OXIDE FILMS

Chandra S., Rao S., INVESTIGATIONS ON MAGNETRON SPUTTERED TANTALUM OXIDE FILMS

LAP Lambert Academic Publishing, 2011 г., 188 стр., 9783843394222


Описание книги

High permittivity dielectrics are studied intensively in the view of their use in the integrated circuits. However, the real emergence of tantalum oxide (Ta2O5) as a dielectric material happened due to its high-dielectric constant, chemical and thermal stability with the promise of compatibility in microelectronic processing. This book covenants with the optimized deposition conditions of Ta2O5 films formed on quartz and p-type Si substrates using dc and rf reactive magnetron sputtering method for structural and optical studies. Further, aluminum metal deposited as a top electrode on Ta2O5 and Si stack to prepare metal oxide semiconductor device for investigating electrical and dielectric properties. The possible ways for depositing good quality Ta2O5 layers on Si, to obtain high dielectric constant explained in this book are quite useful to prepare high quality metal oxide semiconductor device for capacitor applications.

Поделиться ссылкой на книгу




Об авторе

Chandra S.

Rao S.


Последние поступления в рубрике "Общая физика"



Общая физика: механика. Электричество и магнетизм. Учебное пособие для академического бакалавриата Общая физика: механика. Электричество и магнетизм. Учебное пособие для академического бакалавриата Зотеев А.

Учебное пособие представляет собой развернутый конспект лекций по разделам «Механика» и «Электромагнетизм». Рассматриваются такие темы, как кинематика и динамика материальной точки и твердого тела, законы сохранения......

Сборник зхадач и вопросов по физике Сборник зхадач и вопросов по физике Егорова С.И., Вердеровская Н.

Настоящий сборник содержит около 700 задач с ответами по следующим разделам физики: механика, молекулярная физика и теплота, электромагнетизм, оптика и строение атома. В начале каждого раздела дано краткое теоретическое введение с основными законами и формулами, а также примеры решения задач....

Элементарная физика для средних учебных заведений. Со многими упражнениями и задачами. Акустика, оптика, магнетизм, электричество, гальванизм, механический отдел, приложения Элементарная физика для средних учебных заведений. Со многими упражнениями и задачами. Акустика, оптика, магнетизм, электричество, гальванизм, механический отдел, приложения Киселев А.

Вниманию читателей предлагается классический курс элементарной физики, написанный выдающимся педагогом и методистом А.П. Киселевым. В книге содержится большое количество задач и упражнений, ко многим из которых, помимо ответов, даны решения и указания, и которые могут использоваться для самостоятельных занятий любознательного ученика....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Chandra S., Rao S., INVESTIGATIONS ON MAGNETRON SPUTTERED TANTALUM OXIDE FILMS в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.