nbsp;Подробно рассмотрены фундаментальные физические эффекты и электронные процессы, характерные для наноразмерных структур. Описаны принципы функционирования иnbsp;типы наноэлектронных приборов для обработки информации. Приведены нанотехнологические подходы, позволяющие формировать приборные структуры наноэлектроники иnbsp;спинтроники. Наряду с обновленным и расширенным теоретическим материалом предыдущего издания в данное изданиеnbsp;включены практические задачи и контрольные вопросы дляnbsp;самопроверки, призванные закрепить изучаемый теоретический материал.br /nbsp;Для студентов, магистрантов и аспирантов, профессионально ориентированных на карьеру в области современнойnbsp;электроники и нанотехнологий.

ОБ АВТОРАХ......6ВВЕДЕНИЕ......8ГЛАВА 1. ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ......111.1. Фундаментальные явления в низкоразмерных структурах......111.1.1. Квантовое ограничение......121.1.2. Баллистический транспорт носителей заряда......211.1.3. Туннелирование носителей заряда......271.1.4. Спиновые эффекты......331.2. Элементы низкоразмерных структур......381.2.1. Свободная поверхность и межфазные границы......381.2.2. Сверхрешетки......411.2.3. Моделирование атомных конфигураций......451.3. Структуры с квантовым ограничением
создаваемым внутренним электрическим полем......511.3.1. Квантовые колодцы......511.3.2. Модуляционно-легированные структуры......551.3.3. Дельта-легированные структуры......571.4. Структуры с квантовым ограничением
создаваемым внешним электрическим полем......601.4.1. Структуры металл/диэлектрик/полупроводник......601.4.2. Структуры с расщепленным затвором......61ГЛАВА 2. МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОЭЛЕКТРОННЫХ СТРУКТУР......642.1. Традиционные методы формирования пленок......672.1.1. Химическое осаждение из газовой фазы......672.1.2. Молекулярно-лучевая эпитаксия......812.1.3. Электрохимическое осаждение металлов и полупроводников......842.1.4. Электрохимическое оксидирование металлов и полупроводников......952.2. Методы
основанные на использовании сканирующих зондов......1022.2.1. Физические основы......1032.2.2. Атомная инженерия......1062.2.3. Зондовые методы формирования наноструктур......1122.3. Нанолитография......1152.3.1. Электронно-лучевая литография......1152.3.2. Зондовая нанолитография......1202.3.3. Нанопечать......1242.3.4. Сравнение нанолитографических методов......1282.4. Саморегулирующиеся процессы......1322.4.1. Самосборка......1322.4.2. Самоорганизация в объемных материалах......1362.4.3. Самоорганизация при эпитаксии......1412.4.4. Формирование пленок Ленгмюра–Блоджетт......1512.5. Формирование и свойства наноструктурированных материалов......1592.5.1. Пористый кремний......1592.5.2. Пористый оксид алюминия......1642.5.3. Пористые оксиды тугоплавких металлов......1712.5.4. Углеродные наноструктуры......179ГЛАВА 3. ПЕРЕНОС НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В НИЗКОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУРАХ И ПРИБОРЫ НА ИХ ОСНОВЕ......1983.1. Транспорт носителей заряда вдоль потенциальных барьеров......1983.1.1. Интерференция электронных волн......1993.1.2. Вольтамперные характеристики низкоразмерных структур......2033.1.3. Квантовый эффект Холла......2103.1.4. Электронные приборы на основе интерференционных эффектов и баллистического транспорта носителей заряда......2163.2. Туннелирование носителей заряда через потенциальные барьеры......2263.2.1. Одноэлектронное туннелирование......2263.2.2. Приборы на основе одноэлектронного туннелирования......2363.2.3. Резонансное туннелирование......2553.2.4. Приборы на основе резонансного туннелирования......2593.3. Спин-зависимый транспорт носителей заряда......2673.3.1. Гигантское магнитосопротивление......2693.3.2. Спин-контролируемое туннелирование......2783.3.3. Управление спинами носителей заряда в полупроводниках......2843.3.4. Эффект Кондо......2963.3.5. Спинтронные приборы......301ПРAКТИКУМ......3191. Низкоразмерные структуры......3202. Квантовые колодцы......3213. Самоорганизация......3224. Проводимость низкоразмерных структур......3235. Одноэлектронное туннелирование......3246. Резонансное туннелирование......3247. Гигантское магнитосопротивление......3258. Спин-контролируемое туннелирование......326ПРИЛОЖЕНИЯ......328Нобелевские лауреаты: краткая история познания наномира......328Словарь терминов......346РЕКОМЕНДУЕМАЯ ЛИТЕРАТУРА......359ПРЕДМЕТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ......361