Королёв М., Крупкина Т.Ю., Ревелева М.А., Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
БИНОМ. Лаборатория знаний, 2015 г., 400 стр., 9785996329045
Описание книги
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.br/Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Поделиться ссылкой на книгу
Содержание книги
Предисловие редактора......9Введение......11Раздел 1. Основные технологические процессы изготовления кремниевых ИС......211. Поверхностная обработка полупроводниковых материалов......232. Диэлектрические пленки на кремнии......583. Введение примесей в кремний или легирование полупроводниковых материалов......914. Технология литографических процессов......1555. Металлизация......179Раздел 2. Математическое моделирование технологических процессов......1971. Моделирование процесса ионной имплантации......1992. Моделирование процесса термического окисления кремния......2443. Моделирование процесса диффузии......2824. Диффузия примеси в окисляющей среде......3395. Моделирование травления и осаждения слоев......3596. Моделирование процесса фотолитографии......380Литература......397
Об авторе
Последние поступления в рубрике "Электронные книги, аудиокниги"
 |
Tod eines Soldaten Klinkhammer ". |
 |
Seltene Hunderassen aus aller Welt Frey F. |
 |
Vulpes Lupus Canis Gajaze K. |
Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Королёв М., Крупкина Т.Ю., Ревелева М.А., Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.
