В первой части учебного пособия рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами.br/Вторая часть пособия посвящена технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов.br/Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.

Введение......51. Технология элементарных веществ......71.1. Технология металлов......71.1.1. Общие вопросы технологии получения металлов......71.1.2. Алюминий и его соединения......141.1.3. Индий......181.1.4. Галлий......241.1.5. Вольфрам......291.1.6. Молибден......471.1.7. Тантал и ниобий......541.1.8. Титан......661.1.9. Медь......771.2. Технология легирующих элементов......801.2.1. Бор и его соединения......801.2.2. Фосфор и его соединения......851.2.3. Мышьяк и его соединения......912. Технология диэлектрических материалов......952.1. Диэлектрические свойства материалов......962.2. Стеклообразные диэлектрические материалы......982.3. Cтеклокерамические материалы......1162.4. Керамические диэлектрические материалы......1232.5. Органические диэлектрические материалы......1413. Технология углеродных материалов......1463.1. Модификации углерода......1463.2. Технология поликристаллических алмазов......1473.3. Технология алмазных и алмазоподобных пленок......1483.4. Фуллерены......1523.5. Нанотрубки......1533.6. Технология нанотрубок......1544. Технология металлоорганических соединений......1574.1. Органические соединения элементов первой группы......1584.2. Органические соединения элементов второй группы......1594.3. Органические соединения элементов третьей группы......1604.4. Органические соединения элементов четвертой группы......1634.5. Органические соединения элементов пятой группы......1654.6. Органические соединения селена и теллура......1674.7. Карбонилы переходных металлов......1675. Технология некристаллических материалов......1695.1. Технология диспергированных некристаллических материалов......1705.2. Технология ленточных некристаллических материалов......1716. Технология вспомогательных материалов......1736.1. Технологическая очистка газов......1736.2. Технология воды высокой чистоты......175Литература......180

Рощин В.Г.
Родился 25 марта 1961 года в волжском городе Жигулёвск, затем переехал с родителями в Саратов. После школы поступил в Сызранское высшее военное училище лётчиков, окончив которое в 1982 году, был направлен на Тихоокеанский флот для прохождения службы в качестве лётчика морской авиации. Через семь лет попал под сокращение и перешел на работу в гражданскую авиацию. Писать начал в конце девяностых, а первая книга увидела свет в 2002 году. С тех пор издано несколько повестей и более десятка романов в сериях: Русский бестселлер, Спецназ, Спецназ ВДВ.