Информация о книге

5-93497-001-1

Главная  » Научно-техническая литература » Математика. Естественные науки » Физика » Физика твердого тела » Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС

Зайцев Н.А., Красников Г.Н., Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС

Микрон-Принт, 1999 г., 216 стр., 5-93497-001-1


Описание книги

Рассмотрены проблемы образования и включения неконтролируемых примесей в структуру полупроводникового прибора. Дан подробный анализ и определены требования, выдвигаемые к исходным материалам, технологическим средам и оборудованию; подробно описаны основные технологические процессы и оборудование, используемые в субмикронной технологии. Впервые дана классификация и подробно рассмотрены различные дефекты, образующиеся в системе Si-SiO2 в процессе ее изготовления; проведен анализ известных методов геттерирования. С единой научной концепции, основанной на анализе структурно-примесных дефектов системы Si-SiO2, рассмотрена нестабильность электрических свойств структур металл (поликристаллический кремний) диоксид кремния - кремний, связанная с дрейфом ионов и забросом носителей заряда в слой окисленного кремния. Дан критический анализ известных способов стабилизации системы Si-SiO2, подробно рассмотрены наиболее перспективные, которые могут быть использованы в субмикронной технологии...

Поделиться ссылкой на книгу




Об авторе

Зайцев Н.А.
Николай Александрович Зайцев – преподаватель русского и английского языков, русского как иностранного, академик Академии творческой педагогики, автор новых направлений в методиках обучения чтению (на русском, английском, татарском, украинском языках), преподавания математики, грамматики. В его методике воплотились в жизнь идеи многих родителей о легком веселом обучении (счету и беглому чтению) и мечты малышей – об интересных, подвижных играх вместе с родителями и сверстниками. Если кратко сформулировать основную идею методики Зайцева, то она заключается в следующем: обучение должно опираться на все формы восприятия ребенка, мышление, активную практическую и самостоятельную деятельность, развивать слух и зрительную память, а главное – помочь ребенку, играя, весело, без утомительного сидения за партой, читать и считать.

Красников Г.Н.


Последние поступления в рубрике "Физика твердого тела"



Кристаллография: зарождение, рост и морфология кристаллов. Учебное пособие для бакалавриата и магистратуры Кристаллография: зарождение, рост и морфология кристаллов. Учебное пособие для бакалавриата и магистратуры Леонюк Н.

Пособие подготовлено на основе оригинальной литературы и материалов лекций, читаемых авторами в Московском государственном университете уже на протяжении нескольких десятилетий. Пособие дополняет основной лекционный материал курса и поможет студентам......

Современные приборы на основе Арсенида Галлия Современные приборы на основе Арсенида Галлия Шур М.М.

Книга написана известным американским специалистом в области физики полупроводников М. Шуром. Подробно изложены электрофизические свойства GaAs. Особое внимание уделено явлениям переноса в субмикронных структурах. Рассмотрены все основные методы получения и исследования GaAs....

Обратимая пластичность кристаллов Обратимая пластичность кристаллов Косевич А., Гарбер Р., Бойко В.В.

В рамках единого подхода описан ряд явлений: упругое двойникование, термоупругое мартенситное превращение, эффекты сверхупругости и памяти формы, перестройка доменной структуры сегнетоэластиков, обратимая пластичность традиционных и высокотемпературных сверхпроводников....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Зайцев Н.А., Красников Г.Н., Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.