Информация о книге

9785996325689

Главная  » Электронные книги, аудиокниги » Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях

Королёв М., Крупкина Т.Ю., Путря М., Шевяков В.И., Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях

БИНОМ. Лаборатория знаний, 2015 г., 425 стр., 9785996325689


Описание книги

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.br /Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.br /br /

Поделиться ссылкой на книгу



Содержание книги

Введение......8 РАЗДЕЛ 1. ОСНОВНЫЕ МАРШРУТЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ......11 1. Дополнительные области ИС......15 2. Особенности масштабированной технологии изготовления ИС......66 3. Примеры маршрутов изготовления ИС......74 4. Современное состояние технологии многоуровневой системы металлизации кремниевых ИС...... 102 РАЗДЕЛ 2. ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ ТРЕХМЕРНЫХ СТРУКТУР СБИС......127 1. Современные проблемы разработки процессов плазменного травления для УБИС......128 2. Элементарные процессы
протекающие в плазме и плазменных системах различного типа......133 3. Специфика плазменного оборудования
используемого в субмикронной технологии......161 4. Базовые технологические процессы плазменного формирования трехмерных микроструктур......168 5. Глубокое анизотропное плазменное травление кремния для формирования микроэлектромеханических систем......223 6. Методология разработки процессов формирования трехмерных структур УБИС плазменными методами......235 РАЗДЕЛ 3. МЕТОДЫ ПРИБОРНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ В ПРОЕКТИРОВАНИИ МАРШРУТОВ И ЭЛЕМЕНТОВ СБИС......249 1. Системы приборно-технологического моделирования......250 2. Программные средства приборно-технологического моделирования как основа системы виртуального производства......289 3. Примеры использования методов приборно-технологического моделирования......325 4. Моделирование базовых технологических маршрутов......375 Литература......410



Об авторе

Королёв М.

Крупкина Т.Ю.

Путря М.

Шевяков В.И.
Профессор кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" МИЭТ. Автор более 150 научных публикаций.

Последние поступления в рубрике "Электронные книги, аудиокниги"



Tod eines Soldaten Tod eines Soldaten Klinkhammer ".
Seltene Hunderassen aus aller Welt Seltene Hunderassen aus aller Welt Frey F.
Vulpes Lupus Canis Gajaze K.

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Королёв М., Крупкина Т.Ю., Путря М., Шевяков В.И., Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.