Громов Д., Мочалов А.Д., Сулимин А.Д., Шевяков В.И., Металлизация ультрабольших интегральных схем
БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012 г., 282 стр., 9785996309153
Описание книги
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов.Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Поделиться ссылкой на книгу
Об авторе
Сулимин А.Д.
Ведущий специалист ОАО "НИИМЭ и завод "Микрон". Автор более 200 научных публикаций, более 100 изобретений и патентов.
Ведущий специалист ОАО "НИИМЭ и завод "Микрон". Автор более 200 научных публикаций, более 100 изобретений и патентов.
Шевяков В.И.
Профессор кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" МИЭТ. Автор более 150 научных публикаций.
Профессор кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" МИЭТ. Автор более 150 научных публикаций.
Последние поступления в рубрике "Электронные книги, аудиокниги"
 |
Tod eines Soldaten Klinkhammer ". |
 |
Seltene Hunderassen aus aller Welt Frey F. |
 |
Vulpes Lupus Canis Gajaze K. |
Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Громов Д., Мочалов А.Д., Сулимин А.Д., Шевяков В.И., Металлизация ультрабольших интегральных схем в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.
