От авторов......8 1. Этапы развития электронной техники. Классификация материалов......9 1.1. Развитие электроники......9 1.2. Классификация материалов......11 2. Физические основы электронного материаловедения......16 2.1. Основные типы взаимодействий между атомами......16 2.2. Виды химической связи в соединениях......17 2.3. Образование в твердом теле объемных разрешенных энергетических зон. Принцип Паули......23 2.4. Элементы зонной теории твердых тел......26 2.5. Влияние агрегатного состояния на электрические свойства веществ......29 2.6. Особенности строения твердых тел......30 3. Проводящие материалы......34 3.1. Физическая природа электропроводности металлов......34 3.2. Зависимость электропроводности металлов от температуры......37 3.3. Электрические свойства металлических сплавов......40 3.4. Сопротивление проводников на высоких частотах......41 3.5. Сопротивление тонких металлических пленок. Размерный эффект......42 3.6. Контактные явления в металлах......44 3.7. Медь......45 3.8. Алюминий......47 3.9. Сверхпроводящие металлы и сплавы......48 3.10. Специальные сплавы......51 3.11. Сплавы для термопар......52 3.12. Сплавы для корпусов приборов......52 3.13. Тугоплавкие металлы......53 3.14. Благородные металлы......55 3.15. Припои......56 3.16. Неметаллические проводящие материалы......57 4. Полупроводники......58 4.1 Классификация полупроводниковых материалов......58 4.2. Собственные и примесные полупроводники......60 4.3. Температурная зависимость концентрации носителей заряда......62 4.4. Подвижность носителей заряда в полупроводниках......63 4.5. Электрофизические явления в полупроводниках......64 4.6. Кремний......68 4.7. Германий......74 4.8. Карбид кремния......76 4.9. Полупроводниковые соединения АIII ВV......77 4.10. Твердые растворы на основе соединений АIII ВV......80 4.11. Полупроводниковые соединения AII BVI и ТРЗ на их основе......83 4.12. Полупроводниковые соединения AIVBVI и ТРЗ на их основе......85 5. Диэлектрики......89 5.1. Классификация и основные свойства диэлектриков......89 5.2. Электропроводность диэлектриков......95 5.3. Потери в диэлектриках......97 5.4. Пробой диэлектриков......99 5.5. Полимеры в электронной технике......103 5.6. Композиционные пластмассы и пластики......105 5.7. Электроизоляционные компаунды......106 5.8. Неорганические стекла......107 5.9. Ситаллы......109 5.10. Керамики......110 5.11. Активные диэлектрики......112 5.12. Электреты......117 5.13. Жидкие кристаллы......117 5.14. Материалы для твердотельных лазеров......120 6. Магнитные материалы......121 6.1. Классификация магнитных материалов......121 6.2. Магнитомягкие материалы......124 6.3. Магнитотвердые материалы......126 7. Способы получения монокристаллических материалов......128 7.1. Выращивание монокристаллов из расплавов......129 7.2. Выращивание монокристаллов из растворов......135 7.3. Выращивание монокристаллов из газовой среды......139 8. Пленочные технологии......141 8.1. Методы получения тонких пленок......141 8.2. Термическое вакуумное напыление......142 8.3. Катодное вакуумное распыление......149 8.4. Ионно-плазменное распыление......152 8.5. Магнетронное распыление......155 8.6. Лазерное распыление......156 8.7. Элионные технологии......157 8.8. Эпитаксиальные процессы в технологии материалов электронной техники......158 8.9. Химические методы осаждения пленок......170 9. Технологии подготовки и обработки полупроводниковых материалов......175 9.1. Резка полупроводниковых материалов......175 9.2. Шлифование и полирование полупроводниковых пластин......178 9.3. Химическая обработка поверхности полупроводников......180 9.4. Методы очистки поверхности......184 9.5. Фотолитография (операции
материалы)......186 10. Материалы наноэлектроники: физические принципы
свойства
технологии......194 10.1. Предпосылки перехода от микро- к наноэлектронике......194 10.2. Понятие наноматериалов и их виды......196 10.3. Размерные эффекты......199 10.4. Внутренние размерные эффекты и их проявление......201 10.5. Изменение объемных свойств наноматериалов......209 10.6. Методы получения наноматериалов......223 10.7. Методы исследования и аттестации наноматериалов......251 10.8. Технологии получения
функциональные свойства и применение изделий наноэлектроники......257 10.9. Материалы и устройства молекулярной электроники......264 Список рекомендуемой литературы......268