Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология.br/В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения.br/Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.

  Литрес - 49.9 руб.

Предисловие автора......5 Введение......8 Литература......12 Глава 1. Зондовая микроскопия и нанотехнология......15 1.1. Зондовые микроскопы для технологических приложений......16 1.2. Зондовая микроскопия углеродных нанотрубок......26 1.2.1. Атомная структура углеродных нанотрубок......29 1.2.2. Методы селекции углеродных нанотрубок по размерам
форме
тонкой структуре......37 1.3. Зондовая нанотехнология: взгляд на развитие......41 Литература......46 Глава 2. Теоретическое и экспериментальное исследование процессов формирования наноразмерных структур с помощью проводящего зонда......49 2.1. Физико-химические эффекты в зондовой нанотехнологии......50 2.2. Концепция зондовой нанотехнологии в газовых и жидких средах......55 2.3. Контактное формирование нанорельефа поверхности подложек......64 2.4. Бесконтактное формирование нанорельефа поверхности подложек......68 2.5. Локальная «глубинная» модификация полупроводниковых подложек......69 2.6. Локальная электродинамическая модификация поверхности подложки......74 2.7. Межэлектродный массоперенос с нанометровым разрешением......78 2.8. Модификация свойств среды в зазоре между проводящим зондом и подложкой......83 2.9. Электрохимический массоперенос......90 2.10. Массоперенос с помощью газовой среды......92 2.11. Локальное анодное окисление......94 2.12. Тепловой эффект в устройствах вакуумной микро- и наноэлектроники......97 Приложение......101 Литература......104 Глава 3. Зондовые нанотехнологии создания элементной базы наноэлектроники......109 3.1. Квазиодномерные проводники как активные элементы наноэлектроники......110 3.2. Зондовое формирование полимерных микропроводников......122 3.3. Методы формирования металлических квазиодномерных микроконтактов на подложках......130 3.4. Создание элементов металлической наноэлектроники......135 3.5. Нанотранзисторы на основе углеродных нанотрубок. Инверторы......142 3.5.1. Метод приготовления проводников на основе пучка углеродных нанотрубок......142 3.5.2. Репозиционирование и модифицирование углеродных нанотрубок на подложках......147 3.5.3. Исследование характеристик макетов нанотранзистора и инвертора на основе углеродных нанотрубок......152 3.6. Углеродная наноэлектроника......156 3.7. Локальное анодное окисление пиролитического графита......163 Литература......166 Заключение......172