Информация о книге

978-0-470-01893-4

Главная  » Научно-техническая литература » Прикладные науки. Техника » Радиоэлектроника. Связь » Электроника » Fundamental Principles of Optical Lithography

Mack C., Fundamental Principles of Optical Lithography

Inc, John Wiley & Sons, , 534 стр., 978-0-470-01893-4


Описание книги

The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components. By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate. This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter.

Поделиться ссылкой на книгу




Об авторе

Mack C.


Последние поступления в рубрике "Электроника"



Микропроцессорные устройства релейной защиты и автоматики распределительных сетей Микропроцессорные устройства релейной защиты и автоматики распределительных сетей Барабанов Ю.

Приведено описание алгоритмов функционирования микропроцессорных устройств релейной защиты и автоматики распределительной сети 6 + 35 кВ, а также двигателей мощностью до 5000 кВт. Значительное внимание уделено вопросам проектирования, прежде всего расчету уставок....

Функциональная устойчивость сверхбольших интегральных схем. Критерий качества и надежности Функциональная устойчивость сверхбольших интегральных схем. Критерий качества и надежности Куликов И.

В монографии рассмотрена проблема оценки качества сверхбольших интегральных схем (СБИС). Прогресс в их изготовлении не обеспечен методологией оценки результатов испытаний на надёжность как свойства высокого качества....

Микроконтроллеры AVR: от азов программирования до создания практических устройств ( + CD с видеокурсами) Микроконтроллеры AVR: от азов программирования до создания практических устройств ( + CD с видеокурсами) Белов А.Н.

Данная книга - это практический самоучитель по микроэлектронике и микроконтроллерам для начинающих конструкторов, а также для широкого круга инженеров, мастеров по ремонту электроники и всех желающих расширить свои знания в этой области....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Mack C., Fundamental Principles of Optical Lithography в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.