Информация о книге

978-0-470-72730-0

Главная  » Научно-техническая литература » Прикладные науки. Техника » Радиоэлектроника. Связь » Электроника » Fundamental Principles of Optical Lithography. The Science of Microfabrication

Mack C., Fundamental Principles of Optical Lithography. The Science of Microfabrication


серия: Electronic Materials / Semiconductors
Inc, John Wiley & Sons, 2013 г., 534 стр., 978-0-470-72730-0


Описание книги

This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. This text comprises of ten detailed chapters as well as three appendices which provide problems at the end of each chapter. From the Contents: 1 - Introduction to Semiconductor Lithography 2 - Aerial Image Formation 3 - Standing Waves and Swing Curves 4 - Photoresist Exposure and Amplification Kinetics 5 - Photoresist Bake Effects 6 Photoresist Development 7 Critical Dimension Control 8 Resolution Enhancement Technologies 9 Lithography Simulation 10 Future Developments Описание: The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. This book presents a theoretical and practical treatment of the topic of lithography.

Поделиться ссылкой на книгу




Об авторе

Mack C.


Последние поступления в рубрике "Электроника"



Микропроцессорные устройства релейной защиты и автоматики распределительных сетей Микропроцессорные устройства релейной защиты и автоматики распределительных сетей Барабанов Ю.

Приведено описание алгоритмов функционирования микропроцессорных устройств релейной защиты и автоматики распределительной сети 6 + 35 кВ, а также двигателей мощностью до 5000 кВт. Значительное внимание уделено вопросам проектирования, прежде всего расчету уставок....

Функциональная устойчивость сверхбольших интегральных схем. Критерий качества и надежности Функциональная устойчивость сверхбольших интегральных схем. Критерий качества и надежности Куликов И.

В монографии рассмотрена проблема оценки качества сверхбольших интегральных схем (СБИС). Прогресс в их изготовлении не обеспечен методологией оценки результатов испытаний на надёжность как свойства высокого качества....

Микроконтроллеры AVR: от азов программирования до создания практических устройств ( + CD с видеокурсами) Микроконтроллеры AVR: от азов программирования до создания практических устройств ( + CD с видеокурсами) Белов А.Н.

Данная книга - это практический самоучитель по микроэлектронике и микроконтроллерам для начинающих конструкторов, а также для широкого круга инженеров, мастеров по ремонту электроники и всех желающих расширить свои знания в этой области....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Mack C., Fundamental Principles of Optical Lithography. The Science of Microfabrication в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.